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koenn運(yùn)動(dòng)控制器DMC-4000/DMC-4103 Nanomotion Inc. 的超聲波馬達(dá)可以顯著移動(dòng)載物臺(tái)并以納米精度定位。 用于半導(dǎo)體設(shè)備真空室中的晶圓傳送和電子顯微鏡的微動(dòng)。 這種超聲波馬達(dá)將稱為元件的突起壓在載物臺(tái)上并高速振動(dòng)以移動(dòng)載物臺(tái)。請(qǐng)?jiān)囉门c一般電動(dòng)機(jī)不同的結(jié)構(gòu)簡單的執(zhí)行器。
更新時(shí)間：2024-07-10
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koenn帶LVDT的電磁比例閥放大器KRP-15W10L Koen 的液壓伺服閥放大器 與各種公司的噴嘴擋板類型和音圈類型兼容。
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